微系統設計與製造（清華大學信息科學技術學院教材：微電子光電子系列）（簡體書）

微系統（MEMS）是一門多學科高度交叉的前沿學科領域，其設計、制造和應用廣泛涉及到物理學、化學、力學、微電子學、電子學、光學、生物醫學和控制工程等多個學科。本書介紹微系統的基礎理論、分析設計方法和制造技術，以及前沿應用領域的多種典型器件。主要內容包括：微系統基本力學、微系統制造技術、微型傳感器、微型執行器、射頻微系統（RF MEMS）、光學微系統（MOEMS）、生物醫學微系統（BioMEMS）以及微流體與芯片實驗室。本書強調設計與制造相結合、基礎與前沿相結合，在基礎理論和制造技術的基礎上，深入介紹典型器件的設計和制造方法以及重點和前沿應用研究領域，力爭展示微系統的全貌。 本書可供高等院校電子、微電子、微機電系統、測控技術與儀器、精密儀器、機械工程、控制工程等專業的高年級本科生、研究生和教師使用，也可供相關領域的工程技術人員參考。

1　微系統概述
　1.1　引言
1.1.1　MEMS和微系統分類
1.1.2　微系統的特點
1.1.3　MEMS的產生與發展
1.1.4　MEMS的產業狀況
　1.2　MEMS的設計
1.2.1　MEMS設計
1.2.2　建模、模擬與數值計算
　1.3　MEMS制造
2　微系統力學基礎
　2.1　應力與應變
2.1.1　應力與應力狀態
2.1.2　應變與應變狀態
　2.2　彈性體基本方程
2.2.1　本構方程
2.2.2　運動學方程
2.2.3　動力學方程
　2.3　彈性梁
2.3.1　梁的基本方程
2.3.2　懸臂梁
2.3.3　雙端支承梁
2.3.4　折線彈性支承梁
　2.4　能量原理與變分法
2.4.1　彈性能
2.4.2　虛功原理
2.4.3　能量原理
2.4.4　變分法
　2.5　薄板結構
2.5.1　經典薄板理論
2.5.2　矩形薄板
2.5.3　圓形薄板
　2.6　動力學
2.6.1　能量法
2.6.2　瑞利法
　2.7　流體力學
2.7.1　流體力學基本概念
2.7.2　流體靜力學
2.7.3　流體動力學
2.7.4　流體阻尼
3　微系統制造技術
　3.1　集成電路工藝基礎
3.1.1　集成電路與MEMS的材料
3.1.2　光刻技術
3.1.3　薄膜淀積
3.1.4　摻雜
3.1.5　刻蝕
3.1.6　化學機械拋光
　3.2　體微加丁技術
3.2.1　濕法刻蝕
3.2.2　干法深刻蝕
　3.3　表面微加工技術
3.3.1　表面微加工流程
3.3.2　薄膜的力學性質
3.3.3　表面工藝的應用
　3.4　特殊MEMS加工技術
3.4.1　鍵合
3.4.2　LIGA技術
3.4.3　電沉積
　3.5　高深寬比結構的制造
3.5.1　HARPSS　
3.5.2　SCREAM　
3.5.3　DRIE+SOl　
3.5.4　Hexsil
3.5.5　硅片溶解法
3.5.6　EFAB
……
4　微型傳感器
5　微型執行器
6　射頻微系統（RF MEMS）
7　光學微系統（MOEMS）
8　生物醫學微系統（BioMEMS）
9　微流體與芯片實驗室