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TSV三維集成理論、技術與應用(簡體書)
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TSV三維集成理論、技術與應用(簡體書)

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商品簡介

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TSV(ThroughSiliconVia,矽通孔)三維集成技術以TSV互連和芯片堆疊技術為支撐,通過TSV垂直互連實現同質或異質芯片間的垂直集成與信號傳輸。TSV垂直互連突破了平面集成在信號傳輸和功能密度方面的技術瓶頸,可望實現微系統的數據傳輸速度和存儲容量數量級的提高,並大幅度降低系統體積、重量和功耗,被認為是半導體技術超越摩爾定律發展的一大引擎。本書介紹了TSV三維集成技術的理論、技術和應用,包括TSV集成製造方法、關鍵工藝機理、製造技術、三維互連電學設計、熱管理理論和方法,測試方法、並介紹了矽轉接板、存儲器及信息處理模塊、MEMS等多種應用;本書還綜述了TSV技術發展重點和前沿領域。

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