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1.
薄膜生長技術(簡體書)
作者:
金克新
出版社:
科學出版社
出版日:
2024/01/01
裝訂:
平裝
《薄膜生長技術》以作者在西北工業大學物理科學與技術學院的“薄膜物理學”課程講義為藍本,參考國內外薄膜物理學經典教材,主要論述薄膜物理與薄膜生長技術的基本內容,系統介紹薄膜的形成與生長、物理化學製備薄膜的原理與方法,包括真空蒸發鍍膜、濺射鍍膜、離子束鍍膜、化學氣相沉積、脈衝激光分子束外延法等,注重激發學生的學習興趣,提升學生的學習能力。
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2.
薄膜生長(簡體書)
作者:
吳自勤
出版社:
科學出版社
出版日:
2021/12/30
裝訂:
平裝
本書集中介紹了薄膜科學中的關鍵部分――薄膜生長。全書由五個方面15章的內容組成:第一至四章主要從薄膜的角度介紹相平衡和晶體表面原子結構的基礎知識。第五至七章主要介紹薄膜中的缺陷和擴散。第八、九章主要介紹薄膜生長的三種模式和成核長大動理學。第十至十三章主要介紹金屬薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜的生長和生長中出現的分形現象。
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