本書闡述了變壓器內置式超聲波局部放電（partial discharge, PD）的光纖非本征型法布裡-珀羅干涉儀（extrinsicopticalfiberFabry- Perotinterferometer,EFPI)傳感耦合技術和基於微機電系統(micro- electro-mechanical systems,MEMS)敏感結構膜片的優化設計、絕緣體上矽(silicon-On-insulator, SOI)片製造工藝、法珀腔組裝與探頭封裝技術，以及基於油閥特高頻傳感器的一體化設計、試驗及工程應用。
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