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商品類型

簡體書 (1)
商品狀況

可訂購商品 (1)
庫存狀況

無庫存 (1)
商品定價

$800以上 (1)
出版日期

2016年以前 (1)
裝訂方式

平裝 (1)
作者

利薩‧格迪斯、林斌彥 (1)
出版社/品牌

東南大學出版社 (1)

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1筆商品,1/1頁
MEMS材料與工藝手冊(簡體書)
滿額折
作者:利薩‧格迪斯; 林斌彥  出版社:東南大學出版社  出版日:2014/03/01 裝訂:平裝
本書內容包括MEMS中半導體材料、介質材料、金屬材料等製備方法及其特性;MEMS中摻雜工藝、圓片鍵合工藝、表面處理與平坦化工藝等製造工藝;MEMS工藝集成方法以及國際學術界與工業界已經採用的工藝制程案例。
定價:1188 元, 優惠價:87 1034
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