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半導體工藝與測試實驗(簡體書)
作者:
謝德英
出版社:
科學出版社
出版日:
2021/04/30
裝訂:
平裝
半導體工藝和器件測試實驗是微電子學相關專業的專業基礎課程,具有實踐性強,實踐與理論緊密結合的特點,對培養有競爭力的高素質微電子科技人才十分必要。本書介紹了與微電子技術有關的半導體工藝和測試方面的實驗,包括半導體製備工藝的主要六個單項工藝實驗,半導體材料與器件的常規測試實驗,半導體工藝和器件特性仿真實驗,以及銜接以上各單項實驗綜合器件設計、工藝製造、特性表徵與檢測的課題實驗。
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