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半導體乾法刻蝕技術(原書第2版)(簡體書)
作者:
(日)野尻一男
出版社:
機械工業出版社
出版日:
2024/01/01
裝訂:
平裝
本書針對幹法刻蝕技術,在內容上涵蓋了從基礎知識到最新技術,使初學者能夠瞭解幹法刻蝕的機理,而無需複雜的數值公式或方程。本書不僅介紹了半導體器件中所涉及材料的刻蝕工藝,而且對每種材料的關鍵刻蝕參數、對應的等離子體源和刻蝕氣體化學物質進行了詳細解釋。本書討論了具體器件製造流程中涉及的幹法刻蝕技術,介紹了半導體廠商實際使用的刻蝕設備的類型和等離子體產生機理,例如電容耦合型等離子體、磁控反應離子刻蝕、電子回旋共振等離子體和電感耦合型等離子體,並介紹了原子層沉積等新型刻蝕技術。
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