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商品簡介
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聚焦離子束（FocusedIonBeam，FIB）是微納加工、芯片失效分析、微結構科學研究的核心技術裝備之一。隨著材料、器件的微尺度化（納米甚至原子尺度）、高集成化（每平方釐米集成10億個以上的功能單元）、多功能化（在多種外場條件下工作），越來越多的材料微結構研究、器件研發須使用聚焦離子束。全書共分七章，從聚焦離子束的結構原理出發，緊密結合應用與實踐，對聚焦離子束誘導沉積、濺射刻蝕、離子注入、離子束曝光、聯合使用模式以及樣品的前期處理進行闡述，並配有實際案例進行進一步詳解。
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