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1.
聚焦離子束:應用與實踐(簡體書)
作者:
鄧昱
;
魏大慶
;
王英
;
陳振
出版社:
南京大學出版社
出版日:
2023/12/01
裝訂:
平裝
聚焦離子束(FocusedIonBeam,FIB)是微納加工、芯片失效分析、微結構科學研究的核心技術裝備之一。隨著材料、器件的微尺度化(納米甚至原子尺度)、高集成化(每平方釐米集成10億個以上的功能單元)、多功能化(在多種外場條件下工作),越來越多的材料微結構研究、器件研發須使用聚焦離子束。全書共分七章,從聚焦離子束的結構原理出發,緊密結合應用與實踐,對聚焦離子束誘導沉積、濺射刻蝕、離子注入、離子束曝光、聯合使用模式以及樣品的前期處理進行闡述,並配有實際案例進行進一步詳解。
定價:408 元,
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2.
慣性約束聚變導論(簡體書)
作者:
普法勒
出版社:
原子能出版社
出版日:
2011/03/01
裝訂:
平裝
《慣性約束聚變導論》的對象是物理專業研究生。假設讀者具有本科階段的物理基礎。確實沒有假設讀者在等離子物理方面有類似的訓練,但是在三章中提供了相關等離子體現象的一個簡短的概述,更完整的內容見在德國科隆大學冬季學期所開設的課程“像太陽中的能量慣性約束聚變導論”(這是每周兩個小時的講課共l7講)。由于大多數學生之前并沒有學習有關等離子體物理的知識,并不是在《
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3.
聚焦離子束微納加工技術(簡體書)
作者:
顧文琪
出版社:
北京工業大學出版社
出版日:
2006/12/01
裝訂:
平裝
離子束加工是利用荷能離子與工件表面發生物理和化學反應,從而實現材料刻蝕、注入、沉積和改性的微米納米加工技術。離子束加工可分為常規離子束加工和聚焦離子束加工。近年來,隨著納米科技和半導體集成電路產業的飛速發展,具有多功能、高分辨率的聚焦離子束加工技術受到人們空前的重視,它已成為當前微米納米加工的重要手段。 本書重點講述聚焦離子束技術的原理;聚焦離子束系統的結構,包括離子源、離子光學柱體、圖
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