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碳化矽器件工藝核心技術(簡體書)
作者:
(希)康斯坦丁‧澤肯特斯
;
(英)康斯坦丁‧瓦西列夫斯基等
出版社:
機械工業出版社
出版日:
2024/01/01
裝訂:
平裝
本書共包含9章,以碳化矽(SiC)器件工藝為核心,重點介紹了SiC材料生長、表面清洗、歐姆接觸、肖特基接觸、離子注入、幹法刻蝕、電解質製備等關鍵工藝技術,以及高功率SiC單極和雙極開關器件、SiC納米結構的製造和器件集成等,每一部分都涵蓋了上百篇相關文獻,以反映這些方面的最新成果和發展趨勢。
定價:1134 元,
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