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矽片加工技術（簡體書）
作者：
康自衛
出版社：
化學工業出版社
出版日：
2024/02/01
裝訂：
平裝
《硅片加工技術》主要從實際工藝的角度對硅片生產全過程進行了比較系統詳細的介紹，包括硅單晶的基本特性和晶體結構，硅片生產設備的種類、性能及其使用方法，硅單晶從滾磨與開方、切割、研磨、拋光、清洗一直到檢驗包裝的整個生產過程與管理，其中針對太陽能硅片的生產有適當的介紹，通過這些介紹，旨在使讀者能夠對硅片生產有一個全貌的認識，能具備硅片生產工藝與檢驗的基本知識，對各種設備儀器和工藝過程有所了解，有條件時可
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